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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 信息科学 » 信息综合 » 求助~有关金属蒸镀后少量金属尾气的处理方法
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l271859211

木虫 (小有名气)

[求助] 求助~有关金属蒸镀后少量金属尾气的处理方法

我课题是用蒸镀法制备CIGS（铜铟镓硒）薄膜的，每回镀完膜后，开启真空室，气味非常大，对人体的伤害也不明。现在我构想在开启真空室前，真空室先充氩气，再抽真空，抽出来的气体通入 处理液 后再排到大气中。现在困扰我的就是处理液不知道用什么，在此，希望各位师兄师姐给我提提意见~~~
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1楼 2011-08-15 10:15:43
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l271859211

木虫 (小有名气)
木有人吗~~~~~~~~~~~~
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2楼2011-08-15 12:04:28
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aybbobo

木虫 (正式写手)
我们研究室有这个，不过我研一，还不清楚
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3楼2011-09-06 23:21:53
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codesertea

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

尾气如果味道很大应该与Se有关，问题可大可小，最好尽快做好尾气处理。
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4楼2011-09-07 22:04:08
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lgxbmwl2007

铜虫 (初入文坛)
l271859211: 回帖置顶 2012-07-24 11:03:28
你是如何做尾气处理的？每次做完实验，一开真空室，那股难闻的气味。恶劣。
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5楼2011-10-08 10:06:13
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l271859211

木虫 (小有名气)
我开真空室之前，先抽一次真空，引一根气管排到室外，再开真空室，这样气味能淡一些~~~~
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6楼2011-10-10 12:54:12
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