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l271859211

木虫 (小有名气)

[求助] 求助~有关金属蒸镀后少量金属尾气的处理方法

我课题是用蒸镀法制备CIGS(铜铟镓硒)薄膜的,每回镀完膜后,开启真空室,气味非常大,对人体的伤害也不明。现在我构想在开启真空室前,真空室先充氩气,再抽真空,抽出来的气体通入 处理液 后再排到大气中。现在困扰我的就是处理液不知道用什么,在此,希望各位师兄师姐给我提提意见~~~
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aybbobo

木虫 (正式写手)

我们研究室有这个,不过我研一,还不清楚
3楼2011-09-06 23:21:53
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