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yaolu-abc

木虫 (正式写手)


[交流] 【求助】多晶硅生产中尾气的组分

各位大虾,多晶硅生产过程中,产生的尾气中有哪一些氯化烃?谢谢!!!!!
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youyuan_2008

铁虫 (初入文坛)



Missile521(金币+1): 鼓励交流! 2011-04-09 14:57:14
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-12 15:19:08
二氯氢硅 三氯化硅 四氯化硅  是主要的
2楼2011-04-09 14:04:07
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常国强

铜虫 (初入文坛)


★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
enquan123(金币+1): 鼓励交流,多多回帖啊~ 2011-04-19 17:22:22
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-21 11:29:19
二氯二氢硅 三氯氢硅 四氯化硅  氯化氢
3楼2011-04-19 09:53:13
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tin_gao

新虫 (初入文坛)



小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-25 15:19:00
主要的氯化物有 二氯二氢硅 三氯氢硅 四氯化硅  氯化氢 其他的有氢气
4楼2011-04-25 14:25:14
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xielifa

铜虫 (小有名气)



huangzx1314(金币+1): 鼓励多发帖参与交流,讨论~~ 2011-06-30 19:32:29
总称氯硅烷的,当然因为置换过程还可能会有氮气的
5楼2011-06-30 18:38:00
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