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yaolu-abc

木虫 (正式写手)

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帖子: 555
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虫号: 567377

[交流] 【求助】多晶硅生产中尾气的组分

各位大虾，多晶硅生产过程中，产生的尾气中有哪一些氯化烃？谢谢！！！！！

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1楼 2011-03-15 17:27:29

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youyuan_2008

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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★
Missile521(金币+1): 鼓励交流！ 2011-04-09 14:57:14
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-12 15:19:08

二氯氢硅三氯化硅四氯化硅是主要的

赞一下(1人)

2楼2011-04-09 14:04:07

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