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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】多晶硅生产中尾气的组分
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yaolu-abc

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】多晶硅生产中尾气的组分

各位大虾，多晶硅生产过程中，产生的尾气中有哪一些氯化烃？谢谢！！！！！
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1楼2011-03-15 17:27:29
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xielifa

铜虫 (小有名气)
★
huangzx1314(金币+1): 鼓励多发帖参与交流，讨论~~ 2011-06-30 19:32:29
总称氯硅烷的，当然因为置换过程还可能会有氮气的
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5楼2011-06-30 18:38:00
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youyuan_2008

铁虫 (初入文坛)
★
Missile521(金币+1): 鼓励交流！ 2011-04-09 14:57:14
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-12 15:19:08
二氯氢硅 三氯化硅 四氯化硅  是主要的
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2楼2011-04-09 14:04:07
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常国强

铜虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
enquan123(金币+1): 鼓励交流，多多回帖啊~ 2011-04-19 17:22:22
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-21 11:29:19
二氯二氢硅 三氯氢硅 四氯化硅  氯化氢
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3楼2011-04-19 09:53:13
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tin_gao

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
yaolu-abc(金币+1): 2011-04-25 15:19:00
主要的氯化物有 二氯二氢硅 三氯氢硅 四氯化硅  氯化氢 其他的有氢气
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4楼2011-04-25 14:25:14
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