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longquan1988

新虫 (初入文坛)

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[求助] 怎样生成比较光滑的多晶结构的TiO2薄膜，晶粒大小要求在30-80nm，无特殊取向

问下啊，怎样才能得到比较平滑的（RMS<2nm）多晶结构的TiO2薄膜，晶粒大小要求在30-80nm之间，且无特殊取向，薄膜厚度没有什么要求，几十纳米到几百纳米均可。查了下sol-gel, supttering, e-beam, 没发现有符合要求的文献，有知道的同学麻烦给出文献链接。还有哪里能买到这种已经coat了TiO2薄膜的基底，对基底材料无要求，但是薄膜性质要符合要求。谢谢

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1楼2011-08-09 18:24:30

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