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yctczhangwei木虫 (初入文坛)
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请教FTO薄膜的绒面用什么来腐蚀制绒?
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FTO薄膜也就是掺氟二氧化锡(SnO2:F),一般采用CVD法直接制膜,透光率在80%左右,方块电阻8Ω/□ ,雾度11%,我们想在此基础上进一步提高其雾度,不知,可以用什么进行腐蚀制绒,以增加其光散射量,并且不降低其他参量。 前期做了一些湿法腐蚀的工作,发现玻璃和二氧化锡的性质太接近,很难只腐蚀FTO,而不会影响到玻璃(SiO2),从而极大降低了光的透过率。 |
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yctczhangwei
木虫 (初入文坛)
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