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yctczhangwei木虫 (初入文坛)
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[求助]
请教FTO薄膜的绒面用什么来腐蚀制绒？
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FTO薄膜也就是掺氟二氧化锡（SnO2:F），一般采用CVD法直接制膜，透光率在80%左右，方块电阻8Ω/□ ，雾度11%，我们想在此基础上进一步提高其雾度，不知，可以用什么进行腐蚀制绒，以增加其光散射量，并且不降低其他参量。 前期做了一些湿法腐蚀的工作，发现玻璃和二氧化锡的性质太接近，很难只腐蚀FTO，而不会影响到玻璃（SiO2），从而极大降低了光的透过率。 |
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3楼2011-08-12 22:18:01
yctczhangwei
木虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 注册: 2007-08-12
- 专业: 半导体材料
4楼2011-08-13 09:45:28
5楼2012-02-03 12:58:58
