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lzb7758520铁杆木虫 (著名写手)
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氢氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，还是减少其粗糙度啊？ 已有2人参与
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我看到文献当中说20%的氢氟酸可以增加硅片的粗糙度，可是我也用氢氟酸去刻蚀硅片，经过AFM表征，并没有发现粗糙度增加啊？不知道氢氟酸的水溶液究竟是增加硅片的粗糙度，还是减少其粗糙度啊？ 文献中及我都是用的P型（100）硅。 |
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2楼2011-06-13 23:41:17
lzb7758520
铁杆木虫 (著名写手)
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3楼2011-06-14 10:47:19
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