版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

青溪鱼

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 93.9
散金: 13
帖子: 17
在线: 15.1小时
虫号: 1254152
注册: 2011-04-03
性别: MM
专业: 可再生与替代能源利用中的

[求助] 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术

请问，多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术是怎样的？薄膜硅和非晶硅表面刻蚀能酸刻和碱刻吗？

[ Last edited by nono2009 on 2011-6-9 at 10:51 ]

» 猜你喜欢

自荐读博已经有5人回复
求个博导看看已经有16人回复
上海工程技术大学张培磊教授团队招收博士生已经有4人回复
上海工程技术大学【激光智能制造】课题组招收硕士已经有5人回复
求助院士们，这个如何合成呀已经有4人回复
临港实验室与上科大联培博士招生1名已经有9人回复
需要合成515-64-0，50g，能接单的留言已经有4人回复
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？已经有6人回复
带资进组求博导收留已经有10人回复
最近几年招的学生写论文不引自己组发的文章已经有11人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

薄膜XRD-phi scan 角度的计算已经有5人回复
有做金属辅助化学刻蚀硅洞或硅线的吗已经有6人回复
请问下三种不同硅源（白炭黑，TEOS和硅溶胶（JN40））性质和形态有什么区别已经有9人回复
硅片湿法刻蚀怎么刻蚀不上啊？求救已经有11人回复
哪里有卖氮化硅球磨罐的已经有12人回复
SiO2表面接枝PNIPAM后再HF刻蚀能成空心球吗已经有6人回复
有机薄膜太阳能电池 ITO电极怎么刻蚀好？已经有26人回复
【求助】氢氟酸刻蚀硅片，粗糙度是怎么变化的啊？已经有16人回复
【讨论】金属辅助化学刻蚀硅纳米线金颗粒已经有10人回复
AgNO3和HF刻蚀硅纳米线的溶液配置问题已经有10人回复
【求助】硅烷封端剂的用量问题已经有6人回复
【求助】视频处理：用SEM中的FIB刻蚀的录像取得表面的形貌图已经有4人回复
【请教】单晶硅、多晶硅、无定形硅的区别已经有8人回复

要加油！

1楼 2011-06-09 09:37:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lsxscu

铜虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 123.3
散金: 9
帖子: 12
在线: 36.2小时
虫号: 466491
注册: 2007-11-23
专业: 基础物理学

【答案】应助回帖

等离子ETCH较多，LASER ETCH正在发展中，晶硅上多用化学刻蚀，成本较低

4楼2011-06-30 10:30:19

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 4 个回答

llb050210

木虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 2005.5
帖子: 273
在线: 79小时
虫号: 834752
注册: 2009-08-26
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

一般都用激光或者等离子体刻蚀

3楼2011-06-22 00:29:02

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 4 个回答