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青溪鱼新虫 (初入文坛)
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[求助]
多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术
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请问，多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术是怎样的？薄膜硅和非晶硅表面刻蚀能酸刻和碱刻吗？ [ Last edited by nono2009 on 2011-6-9 at 10:51 ] |
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4楼2011-06-30 10:30:19
llb050210
木虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 2005.5
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- 虫号: 834752
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- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2011-06-22 00:29:02
