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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 能源 » 新能源 » 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术
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青溪鱼

新虫 (初入文坛)

[求助] 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术

请问，多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术是怎样的？薄膜硅和非晶硅表面刻蚀能酸刻和碱刻吗？

[ Last edited by nono2009 on 2011-6-9 at 10:51 ]
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要加油！
1楼 2011-06-09 09:37:58
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llb050210

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般都用激光或者等离子体刻蚀
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3楼2011-06-22 00:29:02
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