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青溪鱼

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 1254152
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性别: MM
专业: 可再生与替代能源利用中的

[求助] 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术

请问，多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术是怎样的？薄膜硅和非晶硅表面刻蚀能酸刻和碱刻吗？

[ Last edited by nono2009 on 2011-6-9 at 10:51 ]

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要加油！

1楼 2011-06-09 09:37:58

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llb050210

木虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

一般都用激光或者等离子体刻蚀

3楼2011-06-22 00:29:02

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lsxscu

铜虫 (初入文坛)

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注册: 2007-11-23
专业: 基础物理学

【答案】应助回帖

等离子ETCH较多，LASER ETCH正在发展中，晶硅上多用化学刻蚀，成本较低

4楼2011-06-30 10:30:19

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