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青溪鱼

新虫 (初入文坛)

[求助] 多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术

请问,多晶硅、单晶硅、薄膜硅、非晶硅表面刻蚀技术是怎样的?薄膜硅和非晶硅表面刻蚀能酸刻和碱刻吗?

[ Last edited by nono2009 on 2011-6-9 at 10:51 ]
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要加油!
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llb050210

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般都用激光或者等离子体刻蚀
3楼2011-06-22 00:29:02
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lsxscu

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

等离子ETCH较多,LASER  ETCH正在发展中,晶硅上多用化学刻蚀,成本较低
4楼2011-06-30 10:30:19
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