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icwafer金虫 (正式写手)
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蒸镀的靶材致密度有什么要求？ 已有1人参与
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大家好。 请问大家蒸镀，尤其是电子束蒸发镀膜，对靶材致密度有什么要求。 因为，我看了ITO靶材电子束蒸发镀膜时，致密度只有60%，气孔好多。 有的电子束蒸发镀膜时，靶材致密度起码95%。 到底需要什么样的致密度？为什么？ 个人理解对致密度的要求： 1、电子束蒸发时，发热，需要考虑膨胀。 2、致密度影响蒸发速率。 请大家帮忙。 |
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