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蒸镀的靶材致密度有什么要求？ 已有1人参与
大家好。
请问大家蒸镀，尤其是电子束蒸发镀膜，对靶材致密度有什么要求。
因为，我看了ITO靶材电子束蒸发镀膜时，致密度只有60%，气孔好多。
有的电子束蒸发镀膜时，靶材致密度起码95%。
到底需要什么样的致密度？为什么？
个人理解对致密度的要求：
1、电子束蒸发时，发热，需要考虑膨胀。
2、致密度影响蒸发速率。
请大家帮忙。 |
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