| 查看: 1642 | 回复: 2 | |||
icwafer金虫 (正式写手)
|
[交流]
蒸镀的靶材致密度有什么要求？ 已有1人参与
|
|
大家好。 请问大家蒸镀，尤其是电子束蒸发镀膜，对靶材致密度有什么要求。 因为，我看了ITO靶材电子束蒸发镀膜时，致密度只有60%，气孔好多。 有的电子束蒸发镀膜时，靶材致密度起码95%。 到底需要什么样的致密度？为什么？ 个人理解对致密度的要求： 1、电子束蒸发时，发热，需要考虑膨胀。 2、致密度影响蒸发速率。 请大家帮忙。 |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
icwafer» 猜你喜欢
北京林业大学硕导招生广告
已经有4人回复
-
材料调剂
已经有7人回复
-
化学工程085602 305分求调剂
已经有10人回复
-
289求调剂
已经有15人回复
-
291 求调剂
已经有7人回复
-
274求调剂
已经有14人回复
-
309求调剂
已经有5人回复
-
292求调剂
已经有8人回复
-
求调剂
已经有4人回复
-
一志愿 西北大学 总分282 英语一62 求调剂
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 弱问，理论密度theoretical density 是不是就是真密度true density
已经有10人回复
- 水性聚氨酯乳液刚分散完后是透明但隔日后变浊是什么原因导致?
已经有15人回复
- 重金求救：这个氧化镁条中加了什么添加剂，能烧成型，并能在磨床上任意加工
已经有3人回复
- OLED中镀阳极ITO膜对靶材尺寸的要求
已经有8人回复
- 射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压？
已经有5人回复
- 求助~！镀膜工艺选择
已经有4人回复
- 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
已经有3人回复
- 【求助】请教三元正极材料怎样才能烧成致密度很好的靶材
已经有6人回复
- 【求助】纳米级ZnO和微米级ZnO光致发光谱的不同
已经有9人回复
- 【转帖】南极冰川加速崩塌将致全球海平面上升24厘米
已经有3人回复
zhengting
金虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1000.5
- 散金: 73
- 红花: 8
- 帖子: 754
- 在线: 237.6小时
- 虫号: 844416
- 注册: 2009-09-09
- 专业: 环境化工
2楼2012-04-21 10:52:17
icwafer
金虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 4887.5
- 红花: 3
- 帖子: 940
- 在线: 126.7小时
- 虫号: 89517
- 注册: 2005-08-28
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
3楼2012-04-23 10:19:49
