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icwafer

金虫 (正式写手)

[交流] 蒸镀的靶材致密度有什么要求? 已有1人参与

大家好。
请问大家蒸镀,尤其是电子束蒸发镀膜,对靶材致密度有什么要求。
因为,我看了ITO靶材电子束蒸发镀膜时,致密度只有60%,气孔好多。
有的电子束蒸发镀膜时,靶材致密度起码95%。
到底需要什么样的致密度?为什么?
个人理解对致密度的要求:
1、电子束蒸发时,发热,需要考虑膨胀。
2、致密度影响蒸发速率。
请大家帮忙。
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zhengting

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这与台湾蒸镀机所定工艺相一致,,以为这种密度的靶材用得好,就定这种密度了。没什么特备的原理,为什么呀。。就纯粹是一个产业化工艺要求问题。
sweety
2楼2012-04-21 10:52:17
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icwafer

金虫 (正式写手)

送鲜花一朵
谢谢你的解惑!!
为人民币服务!
3楼2012-04-23 10:19:49
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