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kakarote

金虫 (文坛精英)

[交流] 反应离子刻蚀Si02

各位大侠，我想请教一下，用CF4进行SiO2的反应离子刻蚀目前国内外有人做过么？这方面的文章能否介绍几个。
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1楼 2011-05-05 21:45:51
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jeangong

木虫之王 (文学泰斗)
★
kakarote(金币+1):谢谢参与
不了解啊，帮你顶一下！！
可以上SCIFINDER看看啊！！
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2楼2011-05-05 21:54:56
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