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kakarote

金虫 (文坛精英)


[交流] 反应离子刻蚀Si02

各位大侠,我想请教一下,用CF4进行SiO2的反应离子刻蚀目前国内外有人做过么?这方面的文章能否介绍几个。
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jeangong

木虫之王 (文学泰斗)



kakarote(金币+1):谢谢参与
不了解啊,帮你顶一下!!
可以上SCIFINDER看看啊!!
2楼2011-05-05 21:54:56
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