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kakarote

金虫 (文坛精英)

[交流] 反应离子刻蚀Si02

各位大侠，我想请教一下，用CF4进行SiO2的反应离子刻蚀目前国内外有人做过么？这方面的文章能否介绍几个。

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1楼 2011-05-05 21:45:51

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jeangong

木虫之王 (文学泰斗)

应助: 129 (高中生)
金币: 68743.7
帖子: 56257
在线: 813.8小时
虫号: 222140

★
kakarote(金币+1):谢谢参与

不了解啊，帮你顶一下！！
可以上SCIFINDER看看啊！！

赞一下(1人)

2楼2011-05-05 21:54:56

已阅关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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