| 查看: 375 | 回复: 1 | |||
[交流]
反应离子刻蚀Si02
|
| 各位大侠，我想请教一下，用CF4进行SiO2的反应离子刻蚀目前国内外有人做过么？这方面的文章能否介绍几个。 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有262人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【硼氢化钠】还原【铜离子】反应条件？
已经有39人回复
- ICP反应离子刻蚀设备进气不好
已经有43人回复
- 【求助】氢气、氮气等离子体刻蚀硅
已经有4人回复
- 【交流】能与铅离子发生络合反应的物质
已经有5人回复
- 【求助】反应离子刻蚀的问题
已经有6人回复
- 【求助】XPS分析时采用的Ar离子刻蚀速度通常是多少呢
已经有8人回复
2楼2011-05-05 21:54:56
30