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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 关于SiO2的问题
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[交流] 关于SiO2的问题

SiGe合金上有100-200nm的SiO2。用HF想完全腐蚀掉SiO2层，但是尽可能不腐蚀SiGe合金。腐蚀的速度虽然可以经验得出，但是不精确，能否有一个简单、廉价的测试方法测试表面的SiO2完全腐蚀掉了？？或者寻找新的腐蚀液以不伤害SiGe合金呢？？求助哦。。。
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1楼 2011-03-25 17:28:27
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lzdxn

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
可以用几份试样用HF分不同时间去除二氧化硅，再用XRD检测。
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3楼2011-04-22 08:33:24
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