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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】使用酸溶液对硅片进行减薄
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315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)

[交流] 【讨论】使用酸溶液对硅片进行减薄 已有3人参与

我这有一些500多微米厚的单抛硅片，想用HF+HNO3+CH3COOH对其进行减薄。由于要保护抛光面不被腐蚀，所以需要在抛光面表面涂一层抗腐蚀剂，等腐蚀完了以后再去掉这层抗腐蚀剂。我想问一下什么材料可以作为这种抗腐蚀剂？什么方法可以将这种抗腐蚀剂去掉？
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1楼 2011-03-22 15:19:25
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315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)
难道没人知道吗
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2楼2011-03-23 14:17:40
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daidai63

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先用洗洁精 洗干净 后 乙醇超声波清洗   再用  聚合物 等旋涂 固化   可以 参考 UV胶  PDMS 以及 一般可固化 聚合物等！  减薄后  再 直接剥离 胶  
或者去溅射 SiO2  等  再刻蚀      或是  光刻胶  但是  光刻胶一般 不耐碱
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微制造
3楼2012-10-08 22:44:57
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zhoufengle

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
指甲油试试 耐酸的
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4楼2015-07-09 21:34:25
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