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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)

[交流] 【讨论】使用酸溶液对硅片进行减薄 已有3人参与

我这有一些500多微米厚的单抛硅片,想用HF+HNO3+CH3COOH对其进行减薄。由于要保护抛光面不被腐蚀,所以需要在抛光面表面涂一层抗腐蚀剂,等腐蚀完了以后再去掉这层抗腐蚀剂。我想问一下什么材料可以作为这种抗腐蚀剂?什么方法可以将这种抗腐蚀剂去掉?
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315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)

难道没人知道吗
2楼2011-03-23 14:17:40
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daidai63

银虫 (小有名气)


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先用洗洁精 洗干净 后 乙醇超声波清洗   再用  聚合物 等旋涂 固化   可以 参考 UV胶  PDMS 以及 一般可固化 聚合物等!  减薄后  再 直接剥离 胶  
或者去溅射 SiO2  等  再刻蚀      或是  光刻胶  但是  光刻胶一般 不耐碱
微制造
3楼2012-10-08 22:44:57
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zhoufengle

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
指甲油试试 耐酸的
4楼2015-07-09 21:34:25
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