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【讨论】使用酸溶液对硅片进行减薄 已有3人参与
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| 我这有一些500多微米厚的单抛硅片，想用HF+HNO3+CH3COOH对其进行减薄。由于要保护抛光面不被腐蚀，所以需要在抛光面表面涂一层抗腐蚀剂，等腐蚀完了以后再去掉这层抗腐蚀剂。我想问一下什么材料可以作为这种抗腐蚀剂？什么方法可以将这种抗腐蚀剂去掉？ |
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