应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【讨论】使用酸溶液对硅片进行减薄
51/1返回列表
查看: 879  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

315050870lk

捐助贵宾 (小有名气)

[交流] 【讨论】使用酸溶液对硅片进行减薄 已有3人参与

我这有一些500多微米厚的单抛硅片，想用HF+HNO3+CH3COOH对其进行减薄。由于要保护抛光面不被腐蚀，所以需要在抛光面表面涂一层抗腐蚀剂，等腐蚀完了以后再去掉这层抗腐蚀剂。我想问一下什么材料可以作为这种抗腐蚀剂？什么方法可以将这种抗腐蚀剂去掉？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-03-22 15:19:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

daidai63

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
先用洗洁精 洗干净 后 乙醇超声波清洗   再用  聚合物 等旋涂 固化   可以 参考 UV胶  PDMS 以及 一般可固化 聚合物等！  减薄后  再 直接剥离 胶  
或者去溅射 SiO2  等  再刻蚀      或是  光刻胶  但是  光刻胶一般 不耐碱
赞一下 回复此楼
微制造
3楼2012-10-08 22:44:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

zhoufengle

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
指甲油试试 耐酸的
赞一下 回复此楼
4楼2015-07-09 21:34:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭