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江东意杨

金虫 (小有名气)

[交流] 【交流】用PECVD法 在单晶硅表面 制备氮化硅 的颜色 与哪些因数有关???? 已有5人参与

我们组用PECVD法制备氮化硅 在单晶硅的表面生长氮化硅 可是会出现各种彩色?这是为什么?如何确定我们长出的这种东西的成分???
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huafei920

禁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
本帖内容被屏蔽

2楼2011-03-16 08:52:10
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ronaldo2_

金虫 (初入文坛)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
主要是制备的不均匀,造成膜厚的不均匀。
3楼2011-03-16 17:13:02
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江东意杨

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by huafei920 at 2011-03-16 08:52:10:
这是因为氮化硅膜的厚度和折射率不一样造成肉眼观察到的颜色不一样;
就氮化硅减反射膜来说,n*d=λ/4,n-膜折射率,d-膜厚,λ-波长;n*d的值不一样,那么波长也就不一样,故能够观察到不同的色彩;
PECVD法制 ...

高手 非常感谢
4楼2011-03-16 19:26:14
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大当家

铜虫 (小有名气)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励参与 2012-04-11 07:44:04
铂悦公司主要负责PROTOFLEX量子效率、IV测试及真空镀膜、沉积处理系统及太阳能中试线等全线产品在中国区的独家销售并售后服务支持
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5楼2012-04-10 14:36:43
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zzkejing

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

6楼2014-06-25 08:34:53
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