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manson882

至尊木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】气相沉积用什么硅片

请教大家气相沉积用什么硅片  单抛的 还是裸片？
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1楼 2011-02-21 14:59:00
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423445980

木虫 (小有名气)
xjajx: 鼓励交流 2011-02-21 17:34:56
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-02-24 14:00:49

我们都是用单抛的
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2楼2011-02-21 15:11:20
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manson882

至尊木虫 (正式写手)
没有其它兄弟姐妹回答下吗
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3楼2011-02-24 08:17:00
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hc1112223

禁言 (初入文坛)
★
qianniuhua201(金币+1): 鼓励交流 2011-02-24 09:48:22
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-02-24 14:01:13
本帖内容被屏蔽
4楼2011-02-24 09:39:08
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manson882

至尊木虫 (正式写手)
xjajx: 我CVD硅片一般不用HF处理，直接用就可以了 2011-02-24 17:57:58
是不是最好用HF处理下啊
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5楼2011-02-24 14:03:49
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jinxiaoyun

木虫 (正式写手)
manson882(金币+1): 谢谢您的回答 2011-02-25 07:57:59
清洗一下就可以用了吧，一般单抛吧   双抛浪费的吧
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6楼2011-02-24 22:38:18
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manson882

至尊木虫 (正式写手)
看来就是一般用单抛的了
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7楼2011-03-02 08:04:04
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R_zune

金虫 (正式写手)
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-02 14:44:43
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-03-04 07:55:52
CVD我们都用单抛的
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8楼2011-03-02 08:06:48
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tiangan

木虫 (正式写手)
wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-02 14:44:33
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-03-04 07:56:06
单抛的，我们用过，效果还不错。
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9楼2011-03-02 12:48:40
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