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【请教】气相沉积用什么硅片
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manson882
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【请教】气相沉积用什么硅片
请教大家气相沉积用什么硅片 单抛的 还是裸片?
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2011-02-21 14:59:00
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xjajx: 鼓励交流 2011-02-21 17:34:56
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-02-24 14:00:49
我们都是用单抛的
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2011-02-21 15:11:20
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没有其它兄弟姐妹回答下吗
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2011-02-24 08:17:00
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qianniuhua201(金币+1): 鼓励交流 2011-02-24 09:48:22
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-02-24 14:01:13
本帖内容被屏蔽
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2011-02-24 09:39:08
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xjajx: 我CVD硅片一般不用HF处理,直接用就可以了 2011-02-24 17:57:58
是不是最好用HF处理下啊
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2011-02-24 14:03:49
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manson882(金币+1): 谢谢您的回答 2011-02-25 07:57:59
清洗一下就可以用了吧,一般单抛吧 双抛浪费的吧
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2011-02-24 22:38:18
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看来就是一般用单抛的了
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2011-03-02 08:04:04
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wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-02 14:44:43
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-03-04 07:55:52
CVD我们都用单抛的
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2011-03-02 08:06:48
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wandaohzl: 鼓励交流 2011-03-02 14:44:33
manson882(金币+1): 谢谢回答问题 2011-03-04 07:56:06
单抛的,我们用过,效果还不错。
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2011-03-02 12:48:40
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