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295435736

金虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】急求ansys电场分析中鞘层电导率

用 "大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 "这篇文献的平行板电极截面图，我想用ansys进行电场分析，求极板间的电势分布，有公式可以求出等离子体区相对介电常数和电导率，也知道鞘层的相对介电常数，但是不知道电导率是多少？

[ Last edited by 295435736 on 2011-1-18 at 13:46 ]

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1楼 2011-01-14 09:35:41

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lybeyond2011

铜虫 (小有名气)

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Originally posted by 295435736 at 2011-01-14 09:35:41:
用 "大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 "这篇文献的平行板电极截面图，我想用ansys进行电场分析，求极板间的电势分布，有公式可以求出等离子体区相对介电常数和电导率，也知道鞘层的相对 ...

楼主是搞镀膜的？