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【求助】急求ansys电场分析中鞘层电导率
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[交流]
【求助】急求ansys电场分析中鞘层电导率
用 "大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 "这篇文献的平行板电极截面图,我想用ansys进行电场分析,求极板间的电势分布,有公式可以求出等离子体区相对介电常数和电导率,也知道鞘层的相对介电常数,但是不知道电导率是多少?
[
Last edited by 295435736 on 2011-1-18 at 13:46
]
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2011-01-14 09:35:41
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★
xiegangmai(金币+1):辛苦了 2011-01-14 19:58:51
FlexPDE已经很强大啊 编写代码也简单 matlab估计那难啊 边界不好处理 自己写打靶法 或者可以
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2011-01-14 18:23:11
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lybeyond2011
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★
小木虫(金币
+0.5
):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by
295435736
at 2011-01-14 09:35:41:
用 "大面积PECVD平行板电极间电势差分布均匀性数值研究 "这篇文献的平行板电极截面图,我想用ansys进行电场分析,求极板间的电势分布,有公式可以求出等离子体区相对介电常数和电导率,也知道鞘层的相对 ...
楼主是搞镀膜的?
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2011-05-31 09:53:42
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