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【请教】大家帮我看看这种薄膜样品的截面SEM照片是怎么获得的,谢谢了
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下图1 是 三氧化二铝薄膜模板的端面图, 图2 是其截面图, 截面图显示其形貌非常平整, 不知道在SEM制样的时候有什么诀窍, 普通切断或者掰断肯定不会得到这么平整的形貌, 图三就是一个例子。 ![]() [ Last edited by gkd_0000 on 2010-12-23 at 18:29 ] |
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薄膜SEM测试方法 |
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