应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】磁控溅射，多孔基体应该用直靶？斜靶？
71/1返回列表
查看: 883  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

connie3625

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】磁控溅射，多孔基体应该用直靶？斜靶？

想做磁控溅射，在基体上长点东西，刚问了问一个地方能做，但是他们的设备是斜靶的，说往多孔材料上沉积不太好。
我的基体有20-30纳米的小孔，想均匀沉积点Si，孔里也沉上，不知道虫子们了不了解用哪种工艺好一点。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2010-12-02 16:46:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinjie_led

金虫 (初入文坛)
connie3625(金币+1): 2010-12-02 22:10:52
孔太小，有可能会堵上。
赞一下 回复此楼
2楼2010-12-02 17:02:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinxiaoyun

木虫 (正式写手)
connie3625(金币+1): 2010-12-02 22:10:55
孔太小会堵上的，一般高径比超过3就会堵上了。。我也要往孔里沉积东西，真愁着呢。。。
赞一下 回复此楼
3楼2010-12-02 20:28:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

connie3625

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by jinxiaoyun at 2010-12-02 20:28:53:
孔太小会堵上的，一般高径比超过3就会堵上了。。我也要往孔里沉积东西，真愁着呢。。。

我的孔不深，高度跟宽度差不多，我还没试过，你用磁控溅射做过了吗？
赞一下 回复此楼
4楼2010-12-02 22:11:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinxiaoyun

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by connie3625 at 2010-12-02 22:11:41:

我的孔不深，高度跟宽度差不多，我还没试过，你用磁控溅射做过了吗？

那你可以试试哈，我从文献上见过用溅射沉积30nm左右的。我没做过， 我在用电沉积，沉积不上呢 ，悲剧
赞一下 回复此楼
5楼2010-12-03 11:24:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hitprint

捐助贵宾 (正式写手)
磁控溅射没问题
回复此楼
6楼2010-12-04 16:23:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)
降低溅射功率，增大偏压
赞一下 回复此楼
7楼2010-12-08 14:16:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 connie3625 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭