24小时热门版块排行榜    

查看: 810  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

connie3625

木虫 (正式写手)


[交流] 【请教】磁控溅射,多孔基体应该用直靶?斜靶?

想做磁控溅射,在基体上长点东西,刚问了问一个地方能做,但是他们的设备是斜靶的,说往多孔材料上沉积不太好。
我的基体有20-30纳米的小孔,想均匀沉积点Si,孔里也沉上,不知道虫子们了不了解用哪种工艺好一点。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

380677864

木虫 (正式写手)


降低溅射功率,增大偏压
7楼2010-12-08 14:16:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

jinjie_led

金虫 (初入文坛)


connie3625(金币+1): 2010-12-02 22:10:52
孔太小,有可能会堵上。
2楼2010-12-02 17:02:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinxiaoyun

木虫 (正式写手)


connie3625(金币+1): 2010-12-02 22:10:55
孔太小会堵上的,一般高径比超过3就会堵上了。。我也要往孔里沉积东西,真愁着呢。。。
3楼2010-12-02 20:28:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

connie3625

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by jinxiaoyun at 2010-12-02 20:28:53:
孔太小会堵上的,一般高径比超过3就会堵上了。。我也要往孔里沉积东西,真愁着呢。。。

我的孔不深,高度跟宽度差不多,我还没试过,你用磁控溅射做过了吗?
4楼2010-12-02 22:11:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +7 布布和一二 2026-08-10 9/450 2026-08-11 22:12 by 医学老男孩
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +3 majunge000 2026-08-11 4/200 2026-08-11 20:13 by lch2012
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 好奇怪的filecode +4 布布和一二 2026-08-08 5/250 2026-08-10 14:20 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 固定端突然变了,今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 大家散了吧,后缀研究没有意义,别浪费时间了,过好目前的每一天,不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] 好消息?这个有何含义??? +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
信息提示
请填处理意见