24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 706  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

connie3625

木虫 (正式写手)


[交流] 【请教】磁控溅射,多孔基体应该用直靶?斜靶?

想做磁控溅射,在基体上长点东西,刚问了问一个地方能做,但是他们的设备是斜靶的,说往多孔材料上沉积不太好。
我的基体有20-30纳米的小孔,想均匀沉积点Si,孔里也沉上,不知道虫子们了不了解用哪种工艺好一点。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinxiaoyun

木虫 (正式写手)


connie3625(金币+1): 2010-12-02 22:10:55
孔太小会堵上的,一般高径比超过3就会堵上了。。我也要往孔里沉积东西,真愁着呢。。。
3楼2010-12-02 20:28:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

jinjie_led

金虫 (初入文坛)


connie3625(金币+1): 2010-12-02 22:10:52
孔太小,有可能会堵上。
2楼2010-12-02 17:02:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

connie3625

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by jinxiaoyun at 2010-12-02 20:28:53:
孔太小会堵上的,一般高径比超过3就会堵上了。。我也要往孔里沉积东西,真愁着呢。。。

我的孔不深,高度跟宽度差不多,我还没试过,你用磁控溅射做过了吗?
4楼2010-12-02 22:11:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jinxiaoyun

木虫 (正式写手)


引用回帖:
Originally posted by connie3625 at 2010-12-02 22:11:41:

我的孔不深,高度跟宽度差不多,我还没试过,你用磁控溅射做过了吗?

那你可以试试哈,我从文献上见过用溅射沉积30nm左右的。我没做过, 我在用电沉积,沉积不上呢 ,悲剧
5楼2010-12-03 11:24:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 279求调剂 +8 j的立方 2026-03-29 8/400 2026-03-30 17:21 by 无际的草原
[考研] 一志愿211,335分,0856,求调剂院校和导师 +7 倾____萧 2026-03-27 8/400 2026-03-30 09:37 by longlotian
[考研] 085600,专业课化工原理,321分求调剂 +5 大馋小子 2026-03-28 5/250 2026-03-29 08:56 by qingfeng258
[考研] 11408软件工程求调剂 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 21:50 by zhq0425
[考研] 311(085601)求调剂 +4 liziyeyeye 2026-03-28 4/200 2026-03-28 18:50 by 535743368
[考研] 一志愿华理,数一英一285求A区调剂 +8 AZMK 2026-03-25 12/600 2026-03-28 18:15 by AZMK
[考研] 283求调剂 +3 A child 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:41 by ms629
[考研] 322求调剂 +5 旧吢 2026-03-24 5/250 2026-03-28 13:26 by Iveryant
[考研] 286求调剂 +12 PolarBear11 2026-03-26 12/600 2026-03-28 12:14 by zllcz
[考研] 0856,材料与化工321分求调剂 +12 大馋小子 2026-03-27 13/650 2026-03-28 10:56 by self2008
[考研] 295求调剂 +5 1428151015 2026-03-27 6/300 2026-03-28 04:04 by fmesaito
[考研] 070300化学求调剂 +4 起个名咋这么难 2026-03-27 4/200 2026-03-27 21:39 by 83503孙老师
[考研] 348求调剂 +4 小懒虫不懒了 2026-03-27 5/250 2026-03-27 12:47 by 果果妈咪
[考研] 考研调剂 +10 呼呼?~+123456 2026-03-24 10/500 2026-03-27 11:46 by wangjy2002
[考研] 调剂推荐 +5 清酒714 2026-03-26 6/300 2026-03-27 11:12 by 不吃魚的貓
[考研] 0703化学一志愿南京师范大学303求调剂 +3 zzffylgg 2026-03-24 3/150 2026-03-27 10:42 by shangxh
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +4 钢铁大炮 2026-03-24 4/200 2026-03-26 16:28 by dick_runner
[考研] 一志愿河工大 081700 276求调剂 +4 地球绕着太阳转 2026-03-23 4/200 2026-03-26 14:27 by zzll406
[考研] 机械学硕总分317求调剂!!!! +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 求调剂 +3 李李不服输 2026-03-25 3/150 2026-03-25 13:03 by cmz0325
信息提示
请填处理意见