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r9arrow

金虫 (小有名气)

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专业: 极端条件下使用的金属材料

[交流] 【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！已有4人参与

如题，用的气源是 SiH4, N2O, N2，做完试验后发现，机械泵接的排风管（PE？PVC材质？）给腐蚀烂了。

N2O溶于水么？

或是N2O反应生成NO, NO2，与淀积过程中生成的水，或排风管里的水蒸气反应生成 HNO3 ？

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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意

1楼 2010-11-18 08:48:52

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418783132

木虫 (著名写手)

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引用回帖:

Originally posted by r9arrow at 2010-11-18 08:48:52:
如题，用的气源是 SiH4, N2O, N2，做完试验后发现，机械泵接的排风管（PE？PVC材质？）给腐蚀烂了。

N2O溶于水么？

或是N2O反应生成NO, NO2，与淀积过程中生成的水，或排风管里的水蒸气反应生成 HNO3 ？

你是哪个学校的的？，我想做PEPVC，你们那能做吗？？？