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【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！ 已有4人参与
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如题，用的气源是 SiH4, N2O, N2，做完试验后发现，机械泵接的排风管（PE？PVC材质？）给腐蚀烂了。 N2O溶于水么？ 或是N2O反应生成NO, NO2，与淀积过程中生成的水，或排风管里的水蒸气反应生成 HNO3 ？ |
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