| 查看: 1166 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！ 已有4人参与
|
|||
|
如题，用的气源是 SiH4, N2O, N2，做完试验后发现，机械泵接的排风管（PE？PVC材质？）给腐蚀烂了。 N2O溶于水么？ 或是N2O反应生成NO, NO2，与淀积过程中生成的水，或排风管里的水蒸气反应生成 HNO3 ？ |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿华中科技大学071000，求调剂
已经有4人回复
-
生物学一志愿985，分数349求调剂
已经有4人回复
-
生物学调剂
已经有4人回复
-
求调剂院校信息
已经有4人回复
-
085600材料与化工306
已经有4人回复
-
286求调剂
已经有10人回复
-
328求调剂，英语六级551，有科研经历
已经有9人回复
-
一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂
已经有4人回复
-
286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！
已经有8人回复
-
资源与环境 调剂申请(333分)
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 关于研究湖泊沉积物的大牛
已经有11人回复
- 我想减压蒸发水分 用水泵抽了半天 结果一点没蒸发掉 郁闷哪
已经有60人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 锂离子电池中的铝箔腐蚀机理是什么
已经有12人回复
- 循环伏安法沉积铂，沉积的铂量怎么确定
已经有3人回复
- 介孔sio2烧结后为什么变黄
已经有7人回复
- 有关氮氧化硅的（Si2N2O）腐蚀的问题
已经有8人回复
- 请问如何用灯丝法在铜片上生长金刚石薄膜（不是自支撑），谢谢！
已经有14人回复
- 铝合金浸泡腐蚀实验
已经有14人回复
- 腐蚀的深浅，组织差别很大的原因？？
已经有17人回复
- SiO2含量在70-80%左右的是什么材料？
已经有22人回复
- 石墨烯或是防金属腐蚀的理想涂层
已经有47人回复
- 【请教】怎么测试等离子化学气相沉积（PECVD）的氮化硅薄膜内应力？
已经有5人回复
feifeishun
金虫 (正式写手)
- 应助: 31 (小学生)
- 金币: 821.6
- 散金: 40
- 红花: 2
- 帖子: 603
- 在线: 127.3小时
- 虫号: 1067298
- 注册: 2010-07-31
- 性别: GG
- 专业: 结构陶瓷
4楼2010-11-18 12:24:25
stardom427
木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 4253
- 红花: 2
- 帖子: 2139
- 在线: 366.3小时
- 虫号: 368091
- 注册: 2007-05-11
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2010-11-18 10:08:10
3楼2010-11-18 12:05:53
5楼2010-11-18 17:33:27
