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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！
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r9arrow

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！ 已有4人参与

如题，用的气源是 SiH4, N2O, N2，做完试验后发现，机械泵接的排风管（PE？PVC材质？）给腐蚀烂了。

N2O溶于水么？

或是N2O反应生成NO, NO2，与淀积过程中生成的水，或排风管里的水蒸气反应生成 HNO3 ？
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
1楼 2010-11-18 08:48:52
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stardom427

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
你都知道了还问啊，，，呵呵
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2楼2010-11-18 10:08:10
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r9arrow

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by stardom427 at 2010-11-18 10:08:10:
你都知道了还问啊，，，呵呵

你也有这样的经验么？后来如何解决的？
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
3楼2010-11-18 12:05:53
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feifeishun

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
就是因为有硝酸产生啊，你产生的废水怎么排是关键，不仅仅是排风管腐蚀啊，是不是你的机械泵也被腐蚀了？
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顺-其自然
4楼2010-11-18 12:24:25
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418783132

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by r9arrow at 2010-11-18 08:48:52:
如题，用的气源是 SiH4, N2O, N2，做完试验后发现，机械泵接的排风管（PE？PVC材质？）给腐蚀烂了。

N2O溶于水么？

或是N2O反应生成NO, NO2，与淀积过程中生成的水，或排风管里的水蒸气反应生成 HNO3 ？

你是哪个学校的的？，我想做PEPVC，你们那能做吗？？？
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努力不一定成功，放弃一定失败
5楼2010-11-18 17:33:27
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r9arrow

金虫 (小有名气)
★
418783132(金币+1):我看错了，不太好意思了，呵呵 2010-11-20 16:46:41
引用回帖:
Originally posted by 418783132 at 2010-11-18 17:33:27:



你是哪个学校的的？，我想做PEPVC，你们那能做吗？？？

我不在学校里了，PEPVC？
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突然来了一个机会，空空的没有目的；就像姑娘当初生了我们，我们没有说愿意
6楼2010-11-20 12:07:31
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