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东方欲晓

铁虫 (小有名气)

[交流] 【请教】反应离子束能刻蚀FTO吗? 已有1人参与

反应离子束能刻蚀FTO吗?
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quanbaogang

木虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
wandaohzl:鼓励交流 2010-11-27 08:54:42
是聚焦离子束还是反应离子刻蚀啊?
反应离子束这种设备偶没有见过,估计就是气体增强聚焦离子束吧。如果是我觉着是可以刻蚀的。
2楼2010-11-27 00:00:53
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