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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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cherub382

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问在用电子束刻蚀做lift-off工艺时如何清洗毛刺 已有3人参与

在做电子束刻蚀做lift-off工艺的时候,制备出来的纳米线条边缘总是会有一些小小的毛刺,请问改用什么溶液清洗掉这些毛刺呢?尤其是对于金结构的纳米线条,多谢啦!
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


从新选择dose
2楼2010-10-28 23:14:03
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cherub382

木虫 (小有名气)

这个跟dose没有关系吧,在200nm线宽以上,合适的dose确实看不明显,但是如果放大到50,000以上,还是能够看到线条边缘的毛刺的,而做100nm以下的时候,这个就更加明显了,我听说一般有成熟工艺的小组都要经过一次后处理的。
3楼2010-10-29 00:52:23
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排骨不会飞

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主,您好!我最近在学习电子束曝光做lift-off工艺时总会遇到去胶不完全的现象,您可以分享一下您的制作工艺提供一些建议吗?我主要是做纳米线的霍尔器件的。
4楼2016-06-22 22:02:42
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