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【求助】单晶硅问题:少子寿命分布不均匀
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zsm412
铜虫
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应助: 0
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帖子: 28
在线: 25.1小时
虫号: 792608
注册: 2009-06-12
专业: 功能材料
[交流]
【求助】单晶硅问题:少子寿命分布不均匀
已有2人参与
请问论坛里有没有做单晶硅的?
现有问题想问:我们公司拉的单晶硅棒,经测试发现尾部少子寿命高,而头部低?电阻率为头高尾低。请问出现这现象的原因是什么?
ps
型单晶硅
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1楼
2010-10-22 10:54:24
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lsllbei
金虫
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在线: 94.7小时
虫号: 1583488
注册: 2012-01-20
性别: GG
专业: 半导体材料
氧碳含量呢?
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潜心修行,一举成名!
2楼
2012-04-13 10:59:10
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pzlky
新虫
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金币: 2.5
帖子: 3
在线: 1小时
虫号: 3606408
注册: 2014-12-22
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
做一下少子寿命纵向分布曲线,单单说头部低是什么意思呢?头部是哪个位置呢?是肩部以下多少距离,要是整个曲线都是头高尾低,那就有问题了,要是仅仅只是头部一点点少子寿命低,那就只是单晶拉制中的个例。可能是头部碳含量超标,头部缺陷密度大之类的原因造成的
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3楼
2014-12-22 09:37:08
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