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benxiaohaimo

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[交流] 【求助】单晶Si氧化成SiO2 已有1人参与

单晶硅表面氧化成SiO2要求温度和时间为多少时氧化的厚度为多少?
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新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
lichun1210(金币+1): 感谢回帖交流~ 2012-01-14 16:18:04
这个要根据你使用的机台的状况,还有设置的气体流量,湿氧还是干氧,温度都有关系,没有办法直接给出多少,但是你可以根据公式大概算一个膜厚!
2楼2012-01-14 15:43:02
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