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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 综合其他 » 【求助】单晶Si氧化成SiO2
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benxiaohaimo

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】单晶Si氧化成SiO2 已有1人参与

单晶硅表面氧化成SiO2要求温度和时间为多少时氧化的厚度为多少？
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开心每一天
1楼 2010-10-13 18:43:35
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532261300

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lichun1210(金币+1): 感谢回帖交流~ 2012-01-14 16:18:04
这个要根据你使用的机台的状况，还有设置的气体流量，湿氧还是干氧，温度都有关系，没有办法直接给出多少，但是你可以根据公式大概算一个膜厚！
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2012-01-14 15:43:02
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