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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 请问腐蚀Si和SiO2有腐蚀速度很低的试剂吗?

腐蚀单晶硅片Si 和SiO2(单晶硅氧化片),想达到腐蚀速度在几nm/min 或者0.x nm/min,条件尽量不要太苛刻,谁有这方面的知识,求助哇!!!
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奋斗。。。
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qiqinhua2006

铜虫 (小有名气)

飘过。。。
等待答案
2楼2012-01-13 19:04:01
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huier0125

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
月下冰魂(金币+12): 2012-02-29 08:48:16
氨水:双氧水:水=0.05:1:5,硅腐蚀速度为0.3nm/min
3楼2012-01-14 15:43:10
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般木

铁杆木虫 (著名写手)

我是傻子

在铬酸溶液中加醋酸溶液,缓蚀剂。
天若有情天亦老,人间正道是沧桑。
4楼2012-05-15 21:33:20
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