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月下冰魂

木虫 (正式写手)

应助: 49 (小学生)
金币: 3111.7
散金: 113
红花: 19
帖子: 444
在线: 158.4小时
虫号: 1191993
注册: 2011-01-18
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 请问腐蚀Si和SiO2有腐蚀速度很低的试剂吗？

腐蚀单晶硅片Si 和SiO2（单晶硅氧化片），想达到腐蚀速度在几nm/min 或者0.x nm/min，条件尽量不要太苛刻，谁有这方面的知识，求助哇！！！

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奋斗。。。

1楼2012-01-08 22:46:24

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般木

铁杆木虫 (著名写手)

我是傻子

应助: 8 (幼儿园)
金币: 6950.6
散金: 10
红花: 2
帖子: 1647
在线: 867.4小时
虫号: 1016356
注册: 2010-05-11
性别: GG
专业: 半导体材料

在铬酸溶液中加醋酸溶液，缓蚀剂。

天若有情天亦老，人间正道是沧桑。

4楼2012-05-15 21:33:20

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qiqinhua2006

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 161.1
散金: 1
帖子: 142
在线: 30.2小时
虫号: 1319825
注册: 2011-06-10
专业: 半导体材料

飘过。。。
等待答案

2楼2012-01-13 19:04:01

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huier0125

新虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 28.1
帖子: 2
在线: 2.7小时
虫号: 1577446
注册: 2012-01-14
专业: 半导体材料

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂(金币+12): 2012-02-29 08:48:16

氨水：双氧水：水=0.05：1：5，硅腐蚀速度为0.3nm/min

3楼2012-01-14 15:43:10

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