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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 经验交流 » 请问腐蚀Si和SiO2有腐蚀速度很低的试剂吗？
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] 请问腐蚀Si和SiO2有腐蚀速度很低的试剂吗？

腐蚀单晶硅片Si 和SiO2（单晶硅氧化片），想达到腐蚀速度在几nm/min 或者0.x nm/min，条件尽量不要太苛刻，谁有这方面的知识，求助哇！！！
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奋斗。。。
1楼2012-01-08 22:46:24
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huier0125

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂(金币+12): 2012-02-29 08:48:16
氨水：双氧水：水=0.05：1：5，硅腐蚀速度为0.3nm/min
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3楼2012-01-14 15:43:10
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qiqinhua2006

铜虫 (小有名气)
飘过。。。
等待答案
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2楼2012-01-13 19:04:01
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般木

铁杆木虫 (著名写手)

我是傻子
在铬酸溶液中加醋酸溶液，缓蚀剂。
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天若有情天亦老，人间正道是沧桑。
4楼2012-05-15 21:33:20
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