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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 计算模拟区 » 仿真模拟 » COMSOL Multiphysics & HYPERWORKS » 【求助】射频放电等离子体制备建模求助
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新雨人生

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】射频放电等离子体制备建模求助

氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz，功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后，粒子进入一个膨胀的腔体，在距离等离子体区大约3cm处，粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上


求助  高手    这个实验过程可以建立一个模型吗？用什么软件建模比较好？
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1楼 2010-10-10 18:46:24
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无敌烽火轮

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
1746504楼: Originally posted by 新雨人生 at 2010-11-03 23:10:43
Kortshagen是什么模拟软件?

。。。你这个回答。
看看你这个图的出处文章的作者就知道了。
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6楼2013-03-15 22:08:56
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pptang

荣誉版主 (著名写手)
★
nono2009(金币+1):鼓励应助 2010-10-30 06:49:05
新雨人生(金币+2):谢谢 2010-11-03 23:10:07
你看Kortshagen那边有没有这方面的模拟，如果不行就上COSMOL
赞一下(1人) 回复此楼
您的支持，是我的动力！！！
2楼2010-10-29 13:10:56
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新雨人生

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
Originally posted by pptang at 2010-10-29 13:10:56:
你看Kortshagen那边有没有这方面的模拟，如果不行就上COSMOL

Kortshagen是什么模拟软件?
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3楼2010-11-03 23:10:43
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夕阳西下

金虫 (著名写手)
模型建好了没？是用什么建的？
赞一下 回复此楼
4楼2011-01-23 11:35:42
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