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【求助】射频放电等离子体制备建模求助
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氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz，功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后，粒子进入一个膨胀的腔体，在距离等离子体区大约3cm处，粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上 求助 高手 这个实验过程可以建立一个模型吗？用什么软件建模比较好？ |
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 等离子体方向 |
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pptang
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2楼2010-10-29 13:10:56