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【求助】等离子体的相对介电常数和电导率是多少？
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有谁知道射频辉光放电下产生的等离子体的相对介电常数和电导率是多少啊？里面是氢气和硅烷发生反应,其中氢气占97%，硅烷占3% [ Last edited by 295435736 on 2011-1-14 at 15:57 ] |
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