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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】等离子体的相对介电常数和电导率是多少？
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295435736

金虫 (小有名气)

[交流] 【求助】等离子体的相对介电常数和电导率是多少？

有谁知道射频辉光放电下产生的等离子体的相对介电常数和电导率是多少啊？里面是氢气和硅烷发生反应,其中氢气占97%，硅烷占3%

[ Last edited by 295435736 on 2011-1-14 at 15:57 ]
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1楼 2011-01-14 10:13:14
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lxh419

金虫 (正式写手)
295435736(金币+1): 谢谢了 2011-01-17 10:53:52
引用回帖:
Originally posted by 295435736 at 2011-01-14 10:13:14:
有谁知道射频辉光放电下产生的等离子体的相对介电常数和电导率是多少啊？里面是氢气和硅烷发生反应

[ Last edited by 295435736 on 2011-1-14 at 13:06 ]

相对介电常数、电导率与氢气和硅烷的比例有关，与气体的温度也有关系。
此外，这些量随氢气和硅烷的反应而变化。
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3楼2011-01-14 14:17:55
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jshine

至尊木虫 (著名写手)
295435736(金币+1): 我会找找看 2011-01-17 10:53:37
找本有介绍金属特路德-洛伦兹模型的书看看
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2楼2011-01-14 10:50:33
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
等离子体本身就是一个复杂的系统，它的电导率跟太多参数相关了，楼主只给出一个氢气和硅烷的体积比就想知道等离子体的电导率简直天方夜谭！射频功率多少？耦合到气体里能量的效率多高？温度多高？气压多高？等等一系列问题都不知道，谁都给不了你答案！就算这些参数都清楚，也未必能给出答案！
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4楼2011-01-16 13:58:28
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