| 查看: 2159 | 回复: 6 | ||||
[交流]
【求助】射频放电等离子体制备建模求助
|
氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz，功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后，粒子进入一个膨胀的腔体，在距离等离子体区大约3cm处，粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上 求助 高手 这个实验过程可以建立一个模型吗？用什么软件建模比较好？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 等离子体方向 |
» 猜你喜欢
垃圾破二本职称评审标准
已经有19人回复
-
职称评审没过，求安慰
已经有53人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有5人回复
-
26申博自荐
已经有3人回复
-
A期刊撤稿
已经有4人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 【求助】等离子体的相对介电常数和电导率是多少？
已经有3人回复
- 【求助】MPCVD等离子体熄灭问题
已经有11人回复
- 【求助】具有等离子体共振特征的金属有哪些？
已经有19人回复
- 有关气体放电等离子体
已经有7人回复
- 【求助】一个关于等离子体产生的问题
已经有14人回复
- 【求助】等离子体和电弧有啥区别？
已经有7人回复
- 【求助】利用Comsol进行表面等离子体模拟
已经有15人回复
- 【求助】请问Comsol能模拟表面等离子体激元吗
已经有41人回复
pptang
荣誉版主 (著名写手)
- 应助: 11 (小学生)
- 贵宾: 3.85
- 金币: 1887.4
- 散金: 3463
- 红花: 4
- 帖子: 2335
- 在线: 332小时
- 虫号: 67
- 注册: 2003-03-01
- 性别: GG
- 专业: 电工材料特性及其应用
- 管辖: 论文翻译
2楼2010-10-29 13:10:56
3楼2010-11-03 23:10:43
夕阳西下
金虫 (著名写手)
- 应助: 138 (高中生)
- 贵宾: 0.041
- 金币: 9247.1
- 散金: 73
- 红花: 28
- 沙发: 1
- 帖子: 1268
- 在线: 1164.4小时
- 虫号: 220750
- 注册: 2006-03-20
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
- 管辖: 物理
4楼2011-01-23 11:35:42
yanglf2008
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1394.7
- 帖子: 226
- 在线: 47小时
- 虫号: 544796
- 注册: 2008-04-13
- 性别: MM
- 专业: 水工结构和材料及施工
5楼2012-04-23 15:03:58
6楼2013-03-15 22:08:56
乐之不以其道
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 73.8
- 帖子: 28
- 在线: 36小时
- 虫号: 2021876
- 注册: 2012-09-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
7楼2014-08-27 22:52:04