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新雨人生

铜虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】射频放电等离子体制备建模求助

氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz,功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后,粒子进入一个膨胀的腔体,在距离等离子体区大约3cm处,粒子以粉末的形式收集在一个一个不锈钢网上


求助  高手    这个实验过程可以建立一个模型吗?用什么软件建模比较好?
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夕阳西下

金虫 (著名写手)

模型建好了没?是用什么建的?
4楼2011-01-23 11:35:42
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pptang

荣誉版主 (著名写手)


nono2009(金币+1):鼓励应助 2010-10-30 06:49:05
新雨人生(金币+2):谢谢 2010-11-03 23:10:07
你看Kortshagen那边有没有这方面的模拟,如果不行就上COSMOL
您的支持,是我的动力!!!
2楼2010-10-29 13:10:56
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新雨人生

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
Originally posted by pptang at 2010-10-29 13:10:56:
你看Kortshagen那边有没有这方面的模拟,如果不行就上COSMOL

Kortshagen是什么模拟软件?
3楼2010-11-03 23:10:43
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yanglf2008

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
995499楼: Originally posted by 新雨人生 at 2010-10-10 18:46:24:
氩气和硅烷的混合气体从上端进入外径和内径分别为12mm和8mm的石英管中。频率为13.56MHz,功率为100W的射频电源通过匹配网络加到两个铜环上。放电气压保持在200Pa。离开等离子体区后,粒子进入一个膨胀的腔体,在距 ...

你现在那个模型弄的怎样了?我刚开始接触这一块,想向你学习学习。方便的话,邮箱联系:yanglf2008@yahoo.com.cn
生命长度不可变,但是我会丰富其内容。
5楼2012-04-23 15:03:58
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