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Jessicabai

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助真空蒸发制备薄膜方面的问题 已有3人参与

在使用过程中真空蒸发仪,应该注意哪些问题?如何解决蒸发舟与蒸发材料金属合金化问题?如何准确控制蒸发速率?谢谢大家!

[ Last edited by Jessicabai on 2010-10-9 at 17:28 ]
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自信的女人最美!
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

能推荐几本关于蒸发方面的书吗?

谢谢你的回答,能说具体点吗?
自信的女人最美!
3楼2010-10-10 10:12:30
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪

Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 10:10:12
真空蒸镀主要注意气压、热源温度、基片温度的控制吧!为了抑制或避免镀料与加热器发生化学反应,一般用陶瓷坩埚,如BN坩埚。要准确控制蒸发速率,我想就要控制好工作气压和蒸发源的温度和基片的温度吧.
有实力才有魅力!
2楼2010-10-10 08:58:31
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪

Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 10:25:46
引用回帖:
Originally posted by Jessicabai at 2010-10-10 10:12:30:
谢谢你的回答,能说具体点吗?

你可以去看看田明波的薄膜材料与薄膜技术!说的比较详细!
有实力才有魅力!
4楼2010-10-10 10:14:35
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

谢谢,能说明一下舟是如何选择的吗?为什么蒸发Al用钨舟,而不能用钼舟,能说明一下从哪几个方面考虑吗?
自信的女人最美!
5楼2010-10-10 10:17:48
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