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Jessicabai

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助真空蒸发制备薄膜方面的问题已有3人参与

在使用过程中真空蒸发仪,应该注意哪些问题?如何解决蒸发舟与蒸发材料金属合金化问题?如何准确控制蒸发速率?谢谢大家!

[ Last edited by Jessicabai on 2010-10-9 at 17:28 ]
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪

Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 10:10:12
真空蒸镀主要注意气压、热源温度、基片温度的控制吧!为了抑制或避免镀料与加热器发生化学反应,一般用陶瓷坩埚,如BN坩埚。要准确控制蒸发速率,我想就要控制好工作气压和蒸发源的温度和基片的温度吧.
有实力才有魅力!
2楼2010-10-10 08:58:31
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

能推荐几本关于蒸发方面的书吗?

谢谢你的回答,能说具体点吗?
自信的女人最美!
3楼2010-10-10 10:12:30
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪

Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 10:25:46
引用回帖:
Originally posted by Jessicabai at 2010-10-10 10:12:30:
谢谢你的回答,能说具体点吗?

你可以去看看田明波的薄膜材料与薄膜技术!说的比较详细!
有实力才有魅力!
4楼2010-10-10 10:14:35
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

谢谢,能说明一下舟是如何选择的吗?为什么蒸发Al用钨舟,而不能用钼舟,能说明一下从哪几个方面考虑吗?
自信的女人最美!
5楼2010-10-10 10:17:48
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪

Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 11:01:36
你说的舟是不是加热皿或者加热器哦?你们用的金属皿吗?好像一般用陶瓷的!至于为什么用钨,我想是因为钨的熔点更高吧,高达 3380℃,沸点达 5927℃;钼的熔点也很高,也达 2600℃,我想用钼还是可以的吧,只不过钨更好!这只是我的意见哈,仅供参考!
有实力才有魅力!
6楼2010-10-10 10:35:22
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

是热源,我们用的是钨舟或钼舟。还有个问题,蒸发温度如何计算出来?有公式吗?
自信的女人最美!
7楼2010-10-10 11:00:32
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪

Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 15:22:19
蒸发温度可不好计算啊!不知道能不能算,我只知道用热偶规或者其他一些测温度的仪器(比如红外测温仪)等来测!
有实力才有魅力!
8楼2010-10-10 14:17:10
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

谢谢你啦!
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9楼2010-10-10 15:22:36
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金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
959097楼: Originally posted by Jessicabai at 2010-10-09 17:25:01
在使用过程中真空蒸发仪,应该注意哪些问题?如何解决蒸发舟与蒸发材料金属合金化问题?如何准确控制蒸发速率?谢谢大家!

MM你是在哪儿的啊
10楼2012-12-06 11:00:04
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