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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】求助真空蒸发制备薄膜方面的问题
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】求助真空蒸发制备薄膜方面的问题 已有3人参与

在使用过程中真空蒸发仪，应该注意哪些问题？如何解决蒸发舟与蒸发材料金属合金化问题？如何准确控制蒸发速率？谢谢大家！

[ Last edited by Jessicabai on 2010-10-9 at 17:28 ]
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自信的女人最美！
1楼 2010-10-09 17:25:01
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪
Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 10:10:12
真空蒸镀主要注意气压、热源温度、基片温度的控制吧！为了抑制或避免镀料与加热器发生化学反应，一般用陶瓷坩埚，如BN坩埚。要准确控制蒸发速率，我想就要控制好工作气压和蒸发源的温度和基片的温度吧.
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有实力才有魅力！
2楼2010-10-10 08:58:31
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Jessicabai

木虫 (小有名气)

能推荐几本关于蒸发方面的书吗？

谢谢你的回答，能说具体点吗？
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自信的女人最美！
3楼2010-10-10 10:12:30
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪
Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 10:25:46
引用回帖:
Originally posted by Jessicabai at 2010-10-10 10:12:30:
谢谢你的回答，能说具体点吗？

你可以去看看田明波的薄膜材料与薄膜技术！说的比较详细！
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有实力才有魅力！
4楼2010-10-10 10:14:35
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Jessicabai

木虫 (小有名气)
谢谢，能说明一下舟是如何选择的吗？为什么蒸发Al用钨舟，而不能用钼舟，能说明一下从哪几个方面考虑吗？
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自信的女人最美！
5楼2010-10-10 10:17:48
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪
Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 11:01:36
你说的舟是不是加热皿或者加热器哦？你们用的金属皿吗？好像一般用陶瓷的！至于为什么用钨，我想是因为钨的熔点更高吧，高达 3380℃，沸点达 5927℃；钼的熔点也很高，也达 2600℃，我想用钼还是可以的吧，只不过钨更好！这只是我的意见哈，仅供参考！
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有实力才有魅力！
6楼2010-10-10 10:35:22
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Jessicabai

木虫 (小有名气)
是热源，我们用的是钨舟或钼舟。还有个问题，蒸发温度如何计算出来？有公式吗？
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自信的女人最美！
7楼2010-10-10 11:00:32
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wulin1985

木虫 (职业作家)

猪家族-秋天猪
Jessicabai(金币+2): 2010-10-10 15:22:19
蒸发温度可不好计算啊！不知道能不能算，我只知道用热偶规或者其他一些测温度的仪器（比如红外测温仪）等来测！
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8楼2010-10-10 14:17:10
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Jessicabai

木虫 (小有名气)
谢谢你啦！
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9楼2010-10-10 15:22:36
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wgbift

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
959097楼: Originally posted by Jessicabai at 2010-10-09 17:25:01
在使用过程中真空蒸发仪，应该注意哪些问题？如何解决蒸发舟与蒸发材料金属合金化问题？如何准确控制蒸发速率？谢谢大家！

MM你是在哪儿的啊
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10楼2012-12-06 11:00:04
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