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Lavinia2067

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】单晶硅生长过程中的一些问题 已有7人参与

本人从事单晶硅生长工艺改善工作,但是在日常的学习工作中遇到一些问题,希望能和大家探讨交流一下。
      第一:晶体生长过程中如何确保子晶与熔硅接触面上温度是稳定的,以便于长出完好的单晶?

      第二:单晶硅棒在提拉过程中直径粗细不均,即便热场稳定,这是什么原因造成的?
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chenccs

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
1、热屏材料、保温材料。
2、保证合适的温度梯度和拉速相匹配。
3、可以调节PID参数,使其反应灵敏。
6楼2012-04-04 19:11:30
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heyan1602

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
第一:确保不了温度稳定,只能尽量稳定
第二:与温场与提拉速度有关,所以要随时观察。
2楼2010-10-09 11:22:55
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bedfordzx

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
lichun1210(金币+1): 感谢回帖交流! 2012-01-02 22:31:28
恩,同意一楼的说法。温度稳定和热场材料的加热、保温性能有很大关系,还有就是工艺参数的设定了吧
3楼2012-01-02 22:01:25
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lichun1210

木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
我没有长过单晶硅,从激光晶体方面考虑,温度的变化程度,合理的工艺参数~
让世界关注中国晶体,让中国晶体走向世界
4楼2012-01-02 22:31:11
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